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產(chǎn)品中心 Products
Products 產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱: Quanta 250
上市日期:2018-01-09
  • Quanta 250 Quanta 250
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 適用范圍
  • 說明
  • 產(chǎn)品描述
  • 參數(shù)配置

安裝要求

  (更多的數(shù)據(jù)請參考“預(yù)安裝手冊”)

  ?電源:電壓230V(+6%,-10%),

  頻率50or60Hz(+/-1%)

  ?耗電量:電鏡基本系統(tǒng)<3.0kVA

  ?接地:<0.1Ω(歐洲標(biāo)準(zhǔn))

  ?場地環(huán)境:工作溫度15°C-25°C;

  ?相對濕度

  <80%(無冷凝);殘余交流磁場

  <100nT(非同步頻率,水平X/Y方向),

  <300nT(同步頻率,水平X/Y方向)

  ?門寬:90cm

  ?重量:主機(jī)重量約450kg

  ?干燥氮?dú)?推薦使用):0.7-0.8bar,

  放氣時(shí)最大流速10l/min

  ?噪音:<68dBC(需場地測試確定)

  ?振動(需場地測試確定)

  ?減振臺可選

  節(jié)能措施

  ?EnergyStar認(rèn)證的顯示器和工作站

  ?無需冷卻水和空壓機(jī)


系統(tǒng)控制

  ?基于Windows?XP操作系統(tǒng)的32位圖形用戶界面,

  ?鍵盤,光電鼠標(biāo)

  ?1個/2個*19寸液晶顯示器,分辨率1280x1024

  ?軟件驅(qū)動的輸入/輸出共享器*

  ?游戲操縱桿*

  ?多功能控制板*

  圖像處理器

  ?最大4096x3536像素

  ?圖像文件格式:TIFF(8or16bit),BMPorJPEG

  ?單窗口或四窗口圖像顯示

  ?四活動窗口

  ?實(shí)時(shí)或靜態(tài)信號按彩色或按灰度等級混合

  ?256幀平均或積分

  ?數(shù)字動畫記錄(.avi格式)

  ?直方圖及圖像測量軟件

  支持軟件

  ?SmartSCAN?智能掃描技術(shù)

  ?蒙太奇圖像導(dǎo)航

  ?軟件溫度控制

  ?FEI動畫生成工具

  系統(tǒng)選項(xiàng)

  ?減速模式

  ?多功能控制板

  ?支持計(jì)算機(jī)(包括第二個19寸液晶顯示器)

  ?軟件控制的Peltier冷臺

  ?軟件控制的WetSTEM?

  ?軟件控制的1000°C熱臺

  ?軟件控制的1500°C熱臺

  ?游戲操縱桿

  ?樣品電流探測

  ?遠(yuǎn)程控制

  ?視頻打印機(jī)

  ?樣品座套件

  ?機(jī)械泵隔音罩

  ?7針或52針電氣接口

  ?靜電電子束束閘

  ?波譜儀接口

  ?更換成無油機(jī)械泵套件

  ?輔助氣體接口(采用非水氣體)

  通用第三方附件

  ?能譜儀

  ?波譜儀

  ?EBSD

  ?冷臺

  ?陰極熒光譜儀

  ?樣品電流探測器

  ?納米機(jī)械手

  ?CAD導(dǎo)航

  ?電子探針臺

  軟件選項(xiàng)

  ?遠(yuǎn)程控制/觀察軟件

  ?圖像分析軟件

  ?基于Web的數(shù)據(jù)庫軟件

  ?高度分布/粗糙度測量軟件

  支持文檔

  ?在線幫助

  ?入門培訓(xùn)CD

  ?RAPID?(遠(yuǎn)程診斷軟件)

  ?免費(fèi)連接到FEI用戶群在線資源庫

  ?免費(fèi)加入FEI環(huán)境掃描用戶俱樂部


研究各種各樣的材料,并進(jìn)行結(jié)構(gòu)和成份表征,是目前對掃描電鏡的主流應(yīng)用要求。FEIQuanta?系列靈活、通用,足以應(yīng)對當(dāng)今人們廣博的研究方向這一挑戰(zhàn)。“分析任何樣品,得到所有數(shù)據(jù)”,在Quanta上可得到表面像和成份像,并可輔以多種附件來確定材料的性質(zhì)和元素組成。
  當(dāng)今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經(jīng)導(dǎo)電處理過的樣品。Quanta對任何樣品都可得到高質(zhì)量的圖像和分析結(jié)果。無論是對現(xiàn)今的或是將來的應(yīng)用領(lǐng)域,F(xiàn)EI的Quanta50系列都是一個高端的、靈活的解決方案。其特點(diǎn)是,具有高真空、低真空和ESEM?環(huán)境真空三種真空模式,適合分析最廣泛的樣品范圍,從傳統(tǒng)的金屬材料、斷口和拋光斷面,到不導(dǎo)電的軟物質(zhì)。
  Quanta系列用戶界面使用起來十分方便、靈活,有多種功能最大程度地發(fā)揮其使用效率,并且允許采集所有需要的數(shù)據(jù)。它是電鏡專家設(shè)計(jì)來給電鏡專家使用的儀器,性能遠(yuǎn)不止“簡便易用”。這些功能有:特有的圖像導(dǎo)航功能包括蒙太奇圖像導(dǎo)航、鼠標(biāo)雙擊樣品臺移動、鼠標(biāo)拖曳放大居中功能以及其它標(biāo)準(zhǔn)的特色術(shù);SmartSCAN?,一種智能掃描技術(shù),能降低信號噪音,提供更好的數(shù)據(jù);電子束減速模式,一個新的選項(xiàng),將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個全新的水平;Nav-Cam?彩色圖像導(dǎo)航器及新開發(fā)的探測器也大大增加了其靈活性。
  更多數(shù)據(jù)、更多靈活性、更高效率,Quanta系列使您的投資更具價(jià)值。

主要優(yōu)點(diǎn)

  ?在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品,得到二次電子像和背散射電子像

  ?最大程度降低樣品制備要求:低真空/環(huán)境真空技術(shù)使得不導(dǎo)電樣品和/或含水樣品不經(jīng)導(dǎo)

  電處理即可直接成像和分析,樣品表面無電荷累積現(xiàn)象

  ?專利的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng),對導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品都可進(jìn)行EDS/EBSD分析,不管是在高真空模式或在低真空模式。穩(wěn)定的大束流(最大2μA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準(zhǔn)確

  ?電鏡可作為一個微觀實(shí)驗(yàn)室。安裝特殊的原位樣品臺后,在從-165°C到1500°C溫度范圍

  內(nèi),對多種樣品保持其原始狀態(tài)下進(jìn)行動態(tài)原位分析

  ?對導(dǎo)電樣品,可選用減速模式得到表面和成份信息

  ?直觀、簡便易用的軟件,即使電鏡新手也能輕易上手

  典型應(yīng)用

  ?納米表征

  ?金屬及合金,氧化/腐蝕,斷口,焊點(diǎn),拋光斷面,磁性及超導(dǎo)材料

  ?陶瓷,復(fù)合材料,塑料

  ?薄膜/涂層

  ?地質(zhì)樣品斷面,礦物

  ?軟物質(zhì):聚合物,藥品,過濾膜,凝膠,生物組織,木材

  ?顆粒,多孔材料,纖維

  原位過程分析

  ?增濕/去濕

  ?浸潤行為/接觸角分析

  ?氧化/腐蝕

  ?拉伸(伴隨加熱或冷卻)

  ?結(jié)晶/相變

  納米原型制備

  ?電子束曝光(EBL)

  ?電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)


主要參數(shù)

  電子光學(xué)

  ?高性能電子光學(xué)鏡筒,雙陽極熱發(fā)射電子槍

  ?固定式物鏡光闌,使用方便

  ?45°錐度物鏡極靴,及“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)

  ?加速電壓:200V-30kV

  ?束流:最大2μA并連續(xù)可調(diào)

  ?放大倍數(shù):13x–1,000,000x

  分辨率

  ?高真空

  -30kV下3.0nm(SE)

  -30kV下4.0nm(BSE)*

  -3kV下8.0nm(SE)

  ?高真空下減速模式*

  -3kV下7.0nm*

  ?低真空

  -30kV下3.0nm(SE)

  -30kV下4.0nm(BSE)

  -3kV下10nm(SE)

  ?環(huán)境真空(ESEM)

  -30kV下3.0nm(SE)

  檢測器

  ?E-T二次電子探頭

  ?大視場低真空氣體二次電子探頭(LFD)

  ?氣體二次電子探頭(GSED)

  ?樣品室紅外CCD相機(jī)*

  ?高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*

  ?氣體背散射探頭*

  ?四分固體背散射探頭*

  ?閃爍體型背散射探頭/CLD*

  ?vCD(低電壓高襯度探頭)*

  ?電子束流檢測器*

  ?分析型氣體背散射探頭(GAD)*

  ?Nav-Cam?–光學(xué)相機(jī)彩色成像,用于樣品導(dǎo)航*

  ?陰極熒光探測器*

  ?能譜*

  ?波譜*

  ?EBSD*

  真空系統(tǒng)

  ?1個250l/s渦輪分子泵,1個機(jī)械泵

  ?專利的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)

  ?電子束在氣體區(qū)域的行程:10mm或2mm

  ?可升級成無油機(jī)械泵

  ?樣品室真空度(高真空模式)<6e-4Pa

  ?樣品室真空度(低真空模式)<10to130Pa

  ?樣品室真空度(環(huán)境真空模式)<10to2600Pa

  ?典型換樣時(shí)間:高真空模式≤150秒;

  低真空及環(huán)境真空模式≤270秒(FEI標(biāo)準(zhǔn)測試程序)

  樣品室

  ?左右內(nèi)徑284mm

  ?10mm分析工作距離

  ?8個探測器/附件接口

  ?EDS采集角:35°

  樣品臺

  ?X/Y=50mm

  ?Z=50mm(其中馬達(dá)驅(qū)動25mm)

  ?手動傾斜:-15°to+75°

  ?連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°

  ?重復(fù)精度:2μm(X/Y方向)

  ?全對中樣品臺

  樣品座

  ?多樣品座

  ?單樣品座

  ?適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*


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